台積電近日表示，荷蘭光刻機制造商ASML的新型光刻機價格過于昂貴，目前不打算采購。ASML是全球最大規模光刻系統制造商，其所生産的光刻設備在制造芯片的過程中可謂起著最重要作用。

台積電高級副總裁Kevin Zhang周二在阿姆斯特丹的一個技術研討會上表示:“這台EUV光刻機成本非常高。”他指的ASML最新推出的“high-NA”級別極紫外(EUV)光刻機。我喜歡high-NA EUV的性能，但我確實不喜歡它的標價。”

盡管對光刻機的性能表示滿意，但其高達3.5億歐元(約合27億元人民幣)的售價令人望而卻步。

台積電高級副總裁Kevin Zhang周二表示，台積電所謂的A16芯片節點技術(業內普遍認爲是1.6nm芯片制程工藝)，預計將于2026年底推出，並且他表示不需要使用阿斯麥的high-NA EUV，可以繼續依賴台積電一些舊款的EUV光刻設備。“我認爲在這一點上，我們現有的EUV能力應該能夠支持新的工藝，”Kevin Zhang表示。

關于台積電對阿斯麥high-NA EUV的觀點，Zhang表示：“我喜歡high-NA EUV的性能，但是使用新的阿斯麥技術將取決于它在哪個層面最具經濟意義以及我們能夠實現的技術平衡。”不過他拒絕就台積電可能何時開始向阿斯麥訂購新推出的high-NA EUV進行置評。

”經營一家大型芯片制造工廠的成本，包括建築、工具、電力和原材料等等，而這些一直在上漲。這是整個行業所面臨的共同挑戰。”Zhang表示。

ASML作爲全球唯一生産最高端芯片制造設備的公司，其産品需求常被視爲芯片行業的風向標，盡管英特爾已下單購買並開始使用這款設備，但台積電尚未明確采購計劃。