衆所周知,目前全球僅ASML一家能夠生産EUV光刻機。
目前ASML對外出貨的光刻機,其實均是數值孔徑NA=0.33的光刻機,這種稱之爲低數值孔徑的光刻機,一般用于3nm-7nm芯片的光刻。
而當芯片進入到3nm之下,也就是2nm、1.4nm、1nm芯片時,需要用到高數值孔徑的光刻機,也就是NA=0.55的光刻機,型號應該是EXE:5200。
前段時間ASML終于將全球首台高數值孔徑的光刻機EXE:5200,交付給了英特爾。
這台光刻機有多恐怖?首先是售價高達3.5億歐元(約合27億元人民幣)。同時其大小約等于一輛雙層巴士,重量高達150噸,也就是150000KG。
而這樣的光刻機,是無法安裝完全後,再運輸的,運輸時以會拆開,以組件的方式運送到客戶單位,然後再組裝。
運送的時候,需要用到250個貨箱,而安裝的時候,需要用到250名工程師,然後需要6個月的時間,才能全部組裝完成,並聯調到位。
所以,雖然ASML向英特爾交付了全球首台高數值孔徑的EUV光刻機,但實際上,只是運送到英特爾,接下來這台光刻機正式啓用運轉,至少得半年之後。
而按照英特爾的計劃,自己的INTEL 2工藝,也就是2nm芯片,得到2025年才能制造出來,所以這台光刻機的實際運轉日期,也會到2025年去了。
之前ASML的總裁稱,當數值孔徑達到0.55之後,暫時可能就會告一段落了,甚至是最後一代EUV光刻機都有可能,ASML表示在現有技術條件之下,他們無法再提升數值孔徑了。
目前EUV光刻機提升分辨率,有三個方向,一是降低光源波長,但13.5nm的極紫外線已經是極限,無法再降低了。二是提升數值孔徑,但這一步也卡住了,ASML表示無法提升了,0.55是極限了。
還有就是提升光刻工藝因子,但目前的技術,也接近物理極限,無法提升了。
短時間來看,三個方向都是絕路,也就意味著EUV光刻機的分辨率暫時無法提升了,那麽接下來,EUV光刻機的發展,會朝哪個方向呢?誰也不清楚。
那麽佳能的NIL納米壓印等,在未來會不會接替EUV光刻機,成爲主流呢?
只有等著中國追上去超越
中國人去裝機,25人18天妥妥搞定!
要安裝6個月,這效率在中國是吃灰的
一定要堅持走自己的路,國家強大了百姓才能安居樂業
引進消化吸收 推陳出新 [點贊]
以後肯定還有0.1nm,0.000000001nm[點贊][哈哈笑]
我們新能源超越他們就可以了
下一步就是中國突破光刻機的制造並遙遙領先。
現在芯片性能,性價比已經到了瓶頸期,等著超車吧
不存在一天8小時,一個星期雙休。
小編懂的話,你認爲他還是小編嗎?[呲牙笑]
一台雙層巴士,要250個集裝箱?
留著自己用吧
秦始皇:我們有人體計算機
翻新一哈我們自主研發滴啦[笑著哭]
太黑暗了
因特爾買那麽先進幹嘛,現在還在打磨10nm呢
全人類被小小荷蘭的ASML控制,可笑吧
國內不是說華爲不需光刻機也能幹出5nm芯片麽?
安裝不方便不要
繼續壓榨多重曝光吧
宗鴻的光刻過完雙休都能裝完[呲牙笑]
垃圾,沒有5g強!
會不會有240人都是拿空饷的,反正有金主買單,舅子老表都弄過來。